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Mikro- und Nanostrukturierungslabor
Das Mikro- und Nanostrukturierungslabor
(Reinraumlabor) ist eine zentrale Einrichtung, die den Nano- und Materialwissenschaften in Mittelhessen eine zeitgemäße Ausrüstung zur Verfügung stellt, mit der
- Nanostrukturen in sogenannter top-down-Technik erzeugt werden können,
- durch Vorstrukturierung von Substraten kontrollierte Bedingungen für die Herstellung von Nanostrukturen in sogenannter bottom-up-Technik definiert werden können und
- die Integration von Nanostrukturen in Bauelementen (Nano-Mikro-Integration) erforscht werden kann.
(Reinraumklassen 10 000 und 1000) bietet das Labor unter anderem folgende Ausrüstung:
- Fotolithografie (Maskaligner MA 56)
- Rasterelektronenmikroskop mit Elektronenstrahllithografie (JEOL JSM 7001F, ab März 2008)
- Aufdampfanlagen
- Strukturübertragung mit Trockenätzen (Reaktivionenätzer) und Naßätzen (Abzug, Naßbänke).
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Die Errichtung und Einrichtung des Reinraumlabors wurde finanziert aus Mitteln der Justus-Liebig-Universität, des NanoNetzwerkHessen
und der Bundesrepublik Deutschland (Art. 91b GG).
26.02.2010 02:54
