Dünnschicht- und Epitaxielabor (DünE)
Dünnschicht- und Epitaxielabor (DünE)
In der Plattform DünE sind physikalische Methoden zur Synthese dünner Festkörperschichten (in erster Linie Metall- und Metalloxid-Filme) zusammengefasst. Diese werden in verschiedenen Arbeitsgruppen der Fachgebiete Physik und Chemie betrieben:
- Atomlagen-Abscheidung (ALD) - Picosun R-200 mit Glovebox und der Möglichkeit zur Beschichtung poröser Substrate, Prozesse mit Wasser oder Ozon.
Ansprechpartner ist Dr. Jörg Schörmann / AG Prof. Chatterjee. - Laserstrahl-Verdampfen (PLD) - Surface Workstation / Eigenbau mit UV-Laser, Glovebox.
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Ansprechpartner ist Dr. Joachim Sann / AG Prof. Janek.
- Molekularstrahl-Epitaxie (MBE).
Ansprechpartner ist Dr. Jörg Schörmann / AG Prof. Chatterjee. -
Magnetron-Sputteranlagen - Eigenbau bzw. modifiziert, RF- und gepulster Betrieb, Substratheizung, bis zu 5 Materialien im Schichtsystem ohne Luftkontakt, Glovebox.
Ansprechpartnerin ist PD Dr. Angelika Polity / AG Prof. Klar. -
Ionenstrahl-Sputteranlage - Eigenbau, mit Substratheizung, bis zu 3 Materialien im Schichtsystem ohne Luftkontakt, Dualstrahl (kombinatorische Materialabscheidung).
Ansprechpartnerin ist PD Dr. Angelika Polity / AG Prof. Klar. -
Magnetron-Sputteranlage - Surface, mit Glovebox.
Ansprechpartner ist Dr. Joachim Sann / AG Prof. Janek. -
Ionenstrahl-Sputteranlage - Surface Workstation, mit Glovebox.
Ansprechpartner ist Dr. Joachim Sann / AG Prof. Janek.
Hier finden Sie die Nutzungsordnung der Methodenplattform DünE (g-Kennung und Passwort erforderlich).