Henning, Torsten
Mikro- und Nanostrukturphysik
Dr. Henning hat die technische Leitung der Methodenplattform MiNaLab inne. Seine Forschungsinteressen liegen im Bereich der Mikro- und Nanotechnologie insbesondere in der Entwicklung neuer Strukturierungsverfahren und der Einbindung nano- und mikrostrukturierter Komponenten in funktionstüchtige Bauelemente wie etwa miniaturisierte elektrische Raumfahrtantriebe. Darüber hinaus leitet er die Ausbildung der Mikrotechnologinnen und Mikrotechnologen am ZfM.
Kontakt
Dr. Torsten Henning
I. Physikalisches Institut
Tel.: +49-641-99-33191
Fax: +49-641-99-33139
Physik-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16, Raum 429
Anwendungen/Funktionen:
- Materialien für Raumfahrt
Methoden:
- Ionenstrahltechniken
- Mikro- und Nanostrukturierung
- Optische Mikroskopie
- Partikelgrößenanalyse
Materialklassen:
- Dünnschichten
- Halbleiter
- Mikropartikel
- Nanomaterialien