Lehrveranstaltungen

In jedem Wintersemester (voraussichtlich ab 2024: im Sommersemester) beginnt die einführende Vorlesung Grundlagen der Mikro- und Nanostrukturierung am ersten Freitag der Vorlesungszeit um 14:30 Uhr. 

Themen dieser Vorlesung sind

• Fotolithografie (planar und 3D)
• CAD für die Lithografie
• Reinraumtechnik
• Strukturübertragung
• Dünnschichttechnologie
• Silizium als Werkstoff
• Elektronenstrahllithografie

Die Vorlesung eignet sich für BSc-Studierende der Physik, Physik und Technologie für Raumfahrtanwendungen und Materialwisenschaften, aber auch für Interessierte aus anderen Fachgebieten, die einen Überblick über die Möglichkeiten der Mikro- und Nanostrukturierung (unter besonderer Berücksichtigung der Möglichkeiten unseres Reinraumlabors) gewinnen möchten.