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August

Bild des Monats August 2019

Hier finden Sie wechselnde Einblicke in die Arbeiten der am LaMa beteiligten Arbeitsgruppen. Eine Sammlung aller bisher erschienenen Bilder finden sie in der Galerie der Bilder des Monats.

Testreihe zur Parameteroptimierung bei der 3D-Mikrolithografie in SU-8

Seit Januar 2019 verfügt das Mikro- und Nanostrukturierungslabor über ein Gerät zur Mikro- und Nanolithografie in drei Dimensionen auf Grundlage der Zwei-Photonen-Lithografie (Photonics Professional GT von Nanoscribe aus Eggenstein-Leopoldshafen). Bei der Zwei-Photonen-Lithografie wird ein Laserstrahl, dessen Photonenenergie zur Belichtung eines Fotolacks nicht ausreicht, durch eine Mikroskopoptik fokussiert. Um den Brennpunkt herum entsteht in einem Volumenelement (Voxel), das in lateraler Richtung kleiner ist als die Wellenlänge des Lichtes und in vertikaler Richtung im Bereich eines Mikrometers liegt, eine solch hohe Intensität, daß Zwei-Photonen-Absorption stattfindet und der Fotolack belichtet wird. Dieses Voxel wird in drei Dimensionen durch den Fotolack gescannt. Nach der Entwicklung bleibt (im Fall eines "negativen" Fotolacks) die belichtete Struktur zurück.

Die Rasterelektronenmikrografie zeigt eine Testreihe von Vulkanemittern, die auf einem Siliziumsubstrat aus dem negativen Fotolack SU-8 gefertigt wurden, um diejenigen Parameter zu ermitteln, die einen optimalen Kompromiß zwischen der Qualität der hergestellten Struktur einserseits und einer vertretbaren Schreibzeit andererseits darstellen. Solche Vulkanemitter sind von Interesse als Kernkomponente zukünftiger miniaturisierter elektrischer Weltraumantriebe auf der Basis des Elektrospray-Effekts.

Das Photonics Professional GT ist zugänglich im Rahmen der Methodenplattform MiNaLab des ZfM/LaMa, Interessenten können sich gerne jederzeit an MiLaLab@lama.uni-giessen.de wenden.

Dieses Bild wurde eingereicht von Nathalie N. Weigand (Auszubildende zur Mikrotechnologin am ZfM/LaMa).