Beschreibung des FuE Plans

Im Rahmen des Projektes soll eine Demonstrationsanlage für die 2DIBS-Technologie entwickelt werden. An der Anlage können konkrete Beschichtungsaufgaben aus der Praxis gelöst werden und die Eignung der Technologie für die jeweiligen Anwendungsfälle validiert werden. Das Projekt gliedert sich in drei Aufgabenbereiche:

• Entwicklung einer Depositionskammer: Zunächst soll eine Sputterdepositionsanlage für beidseitige kombinatorische Beschichtung realisiert werden.
• Aufbau einer in-situ Diagnostik: Für die Herstellung komplexer Materialabfolgen ist eine genaue Schichtdickenanalytik essentiell. Hierfür wird die spektral und polarisationsaufgelöste Reflexionsmessung favorisiert.
• Schichtoptimierung und Festkörperanalytik: Die Funktion der Depositionsanlage soll an verschiedenen Schichtsystemen für diverse Substrate validiert werden.

◄ Projektbeschreibung 

◄ Stand der Technik und angestrebte Innovation 

 Beschreibung des FuE Plans

 Projektstand ►

 Maßnahmen für den Technologietransfer und Verwetungsplan ►