Bild des Monats August

Auf der linken Aufnahme ist eine freistehende Membran ausYttrium-stabilisiertem Zirkonoxid (YSZ) zu sehen. Dieses Material istals Festkörperionenleiter zum Beispiel interessant für die Forschung anminiaturisierten Brennstoffzellen oder als Festkörperionenemitter fürminiaturisierte Triebwerke. Die 1? µm dicke YSZ-Dünnschicht wurdemittels Hochfrequenz-Sputterns auf einen thermisch oxidiertenSilizium-Wafer abgeschieden. Danach wurden im Mikro- undNanostrukturierungslabor mehrere Stukturierungsschritte durchgeführt, umfreistehende Membranen zu erzeugen. Hierbei ist vor allem dasanisotrope Silizium-Ätzen wichtig. Benutzt man zum BeispielKaliumhydroxid (KOH), so werden die (100)-Ebenen des Si-Wafers schnellergeätzt als die (111)-Ebenen. Es bilden sich pyramidenstumpfartigeStrukturen, wie es zum Beispiel im linken Bild an den Wänden dergeätzten Vertiefung zu erkennen ist. Dort sieht man das Si-Substrat unddie YSZ-Membran von "unten". Auf dem rechten Schema ist ein Querschnittder Probe dargestellt und der Winkel zwischen den beiden Kristallebenenzu sehen. Des Weiteren kann man in der optischen Aufnahme einekreuzförmige Struktur erkennen, die durch Verspannungen in denMembranen verursacht wird. Diese Verspannungen sind abhängig von der Größeder Membran und werden mit verschiedenen Methoden, z.Bsp. Raman-Mapping, weiter untersucht.(Bild eingereicht von Florian Kuhl, I. Physikalisches Institut, AG Klar)