Mai

Bild des Monats Mai 2016

Konfiguration eines Ionenstrahlsputterprozesses (a) mit Target- (2) und Substrathalterung (3) sowie dem extrahierten Ionenstrahl (1).

Die Winkelverteilung des abgestäubten Materials kann durch ein Probenraster (b) abgebildet werden. Man erkennt an dem auf Interferenz basierenden Farbeindruck die Inhomogenität der Schichtdicke. Das radialsymmetrische Dickenprofil (Angaben in nm), dessen Zentrum sich im rechten unteren Probenquadranten befindet, kann mit optischen Messverfahren nachgewiesen werden (c).