Juni 2014Die Abbildung zeigt eine rasterelektronenmikroskopische Aufnahme eines geschlossenen, lithiumionenleitenden Dünnfilms aus amorphem Lithiumphosphoroxinitrid („LiPON“) auf einem porösen Substrat. Die Schicht entsteht im RF-Magnetron-Sputterplasma über einem Lithiumphosphat(Li3PO4)-Target innerhalb einer Stickstoffatmosphäre (unten links). Dabei wird Stickstoff in zwei verschiedenen Koordinationen eingebaut, die mittels Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS) nachgewiesen werden können (oben rechts). Die Dünnfilme mit Dicken zwischen einigen hundert Nanometern und wenigen Mikrometern zeigen Leitfähigkeiten im 10−6 S∙cm−1-Bereich. (Bild eingereicht von Martin Busche.)https://www.uni-giessen.de/de/fbz/fb08/Inst/physchem/janek/gallerypom/GdB2014/BdM0614/viewhttps://www.uni-giessen.de/@@site-logo/logo.png
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Juni 2014
Die Abbildung zeigt eine rasterelektronenmikroskopische Aufnahme eines geschlossenen, lithiumionenleitenden Dünnfilms aus amorphem Lithiumphosphoroxinitrid („LiPON“) auf einem porösen Substrat. Die Schicht entsteht im RF-Magnetron-Sputterplasma über einem Lithiumphosphat(Li3PO4)-Target innerhalb einer Stickstoffatmosphäre (unten links). Dabei wird Stickstoff in zwei verschiedenen Koordinationen eingebaut, die mittels Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS) nachgewiesen werden können (oben rechts). Die Dünnfilme mit Dicken zwischen einigen hundert Nanometern und wenigen Mikrometern zeigen Leitfähigkeiten im 10−6 S∙cm−1-Bereich. (Bild eingereicht von Martin Busche.)
