August

Litho-Saurier: 3D Prozessierung auf Mikroebene

Die Fotolithographie ist eine essenzielle Technik zur Fertigung planarer Strukturen in der Halbleitertechnik. Bisher war die Erzeugung vom dreidimensionalen Strukturen nur bedingt möglich und mit großem Aufwand verbunden. Dies ändert sich mit der 3D-Lithographie. Im Bild zu sehen ist ein Dinosaurier, prozessiert mit dem NanoScribe^© Photonic Professional GT (PPGT) mittels der

dip-in-Technik und IP-Dip Fotolack. Bei dem Bild handelt es sich um eine SEM-Aufnahme der nachträglich mit Silber beschichteten Struktur. Der Dinosaurier wurde aus einer STL-Datei (https://www.thingiverse.com/thing:3858809 by alsamen) in die zugehörige Software importiert und prozessiert. Als Sliceing-Parameter wurden 0.4 Mikrometer und Hatching-Parameter 0.3 Mikrometer verwendet. Wie zu sehen ist, ermöglicht die 3D-Lithographie das Fertigen komplexer Strukturen in hoher Auflösung im Mikrometerbereich. Der Import erfolgt direkt aus Programmcode, oder wie im Bild aus STL-Dateien für konventionelle 3D-Drucker. Dies erlaubt das Prozessieren von einer Vielzahl an Formen und Strukturen in einem einzigen Fertigungsschritt, welche mit konventioneller Fotolithographie sonst überhaupt nicht zu realisieren wären.

This picture was submitted by Fynn Kunze, group of Prof. Dr. Peter J. Klar.