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Mikro- und Nanostrukturierungslabor

Störungsmeldungen
1. Wir werden zu Beginn der 48. KW den Blanker der EBL demontieren und zum Service einschicken; für die Dauer des Service haben wir noch keine Einschätzung. Sobald es genauere Informationen gibt, werden sie hier gepostet.
2. Zwischen dem 12. und 14. Dezember wird das Reinraumpersonal mit dem Umzug und der Inbetriebnahme des Elektronenmikroskops MERLIN beschäftigt sein, an diesen Tagen bitte nur Arbeiten einplanen, die komplett eigenständig erledigt werden, insbesondere keine Praktika.

 

Blick ins Lithografielabor ("Gelbraum")Das Mikro- und Nanostrukturierungslabor (Reinraumlabor) ist eine zentrale Einrichtung, die den Nano- und Materialwissenschaften in Mittelhessen eine zeitgemäße Ausrüstung zur Verfügung stellt, mit der

  • Nanostrukturen in sogenannter top-down-Technik erzeugt werden können,
  • durch Vorstrukturierung von Substraten kontrollierte Bedingungen für die Herstellung von Nanostrukturen in sogenannter bottom-up-Technik definiert werden können und
  • die Integration von Nanostrukturen in Bauelementen (Nano-Mikro-Integration) erforscht werden kann.

Auf einer Reinraumfläche von 41 m2 (Reinraumklassen 10000 und 1000) und weiteren Laborflächen bietet das Labor unter anderem folgende Ausrüstung:

  • Fotolithografie (Maskaligner MA 56)
  • 3D-Mikrolithografie (Zwei-Photonen-Lithografie) mit einem Photonic Professional GT von Nanoscribe (seit 2019)
  • Rasterelektronenmikroskop mit Elektronenstrahllithografie (JEOL JSM 7001F, XENOS XeDraw2)
  • Aufdampfanlagen (thermisch und Elektronenkanone)
  • Strukturübertragung mit Trockenätzen (Reaktivionenätzer, Ionenstrahlätzer) und Naßätzen (Abzug, Naßbänke)
  • Profilometrie mit einem Bruker DektakXT.

Das Mikro- und Nanostrukturierungslabor wird betrieben von der Abteilung Mikro-/Nanostrukturphysik des I. Physikalischen Instituts im Rahmen des Zentrums für Materialforschung (ZfM/LaMa). Seit 2012 bilden wir auch Mikrotechnolog/inn/en mit Schwerpunkt Mikrosystemtechnik aus, zur Zeit haben wir eine laufende Ausbildung bis Sommer 2024. Unsere Azubis besuchen die länderübergreifende Berufsschulklasse der Andreas-Gordon-Schule in Erfurt.

Die Errichtung und Einrichtung des Reinraumlabors wurde finanziert aus Mitteln der Justus-Liebig-Universität, des NanoNetzwerkHessen und der Bundesrepublik Deutschland (Art. 91b GG). Neben Mitgliedern der Justus-Liebig-Universität Giessen, der Universität Marburg und der Technischen Hochschule Mittelhessen steht das Labor auch anderen interessierten Nutzern, nicht nur aus Hessen, zur Verfügung.