Hochauflösende Rasterelektronenmikroskopie (HREM/FESEM)
Hauptverantwortlich: Dr. Klaus Peppler
Stellvertretung: Dr. Boris Mogwitz
HREM MERLIN von Zeiss in Raum A 02 (1. Untergeschoss Neubau Chemie)
Mögliche Probenanalysen:
Neben der Untersuchung der Oberflächenstruktur von Proben als Rasterelektronenbild stehen folgende weitere Untersuchungsmethoden zur Verfügung.
- Bestimmung der Zusammensetzung von Proben mit energiedispersiver Röntgenanalytik (EDX)
- Bestimmung von Materialkontrasten anhand von Rückstreuelektronen
- Bestimmung der kristallographischen Orientierung von Körnern in polykristallinen Proben mit Elektronenrückstreubeugung (EBSD)
- Ladungskompensation für nicht leitfähige Proben
- in situ elektrochemische Experimente mit einem Probermodul (s.u.)
- Aufheizen von Proben von Raumtemperatur auf maximal 800 °C (s.u.)
Probenanforderung:
- vakuumstabil
- Standardgröße von Proben (BxHxT): 12 mm x 20 mm x 12 mm
- maximale Probengröße (BxHxT): 100 mm x 50 mm x 100 mm, Gewicht max. 500 g
Gerätedaten HREM MERLIN von Zeiss
Beschleunigungsspannung: 200 V - 30 kV
Auflösungsvermögen: ca. 1 nm
Elektronenquelle: Schottky-Feldemitter
Bildgebende Detektoren: Everhart-Thornley, SE-Inlens, EsB, AsB
EDX-Detektoren: X-Max 50 mm2 (Polymerfenster) und X-Max Extreme (fensterlos) von Oxford Instruments mit AZtec 3.2
EBSD: TSL von EDAX mit OIM Analysis
Probermodul von Kammrath & Weiss GmbH
Das Probermodul bietet die Möglichkeit bis zu vier Elektroden auf einer Probe im laufendem HREM-Betrieb zu platzieren (12 mm Aktionsradius in x- und y-Richtung, 4 mm in z-Richtung). Als Elektroden können sowohl Drähte als auch speziell angefertigte Nadeln mit Spitzendurchmessern im Mikro- und Nanometerbereich eingesetzt werden (Piezomotoren ermöglichen eine hohe Positionsgenauigkeit).
Heiztisch von Kammrath & Weiss GmbH
Es besteht die Möglichkeit Proben von Raumtemperatur auf maximal 800 °C im HREM zu heizen (auch in Kombination mit dem Probermodul).