Juni 2013

Bei Gasphasenabscheidungen können geringe Änderungen der Prozessparameter (Substrattemperatur, Prozessdruck, etc.) einen maßgeblichen Einfluss auf die erhaltene Probenbeschaffenheit nehmen. Hinzu kommt insbesondere im Falle der gepulsten Laserdeposition, dass das abzuscheidende Material als Target einer hohen Energiedichte ausgesetzt wird und nach einigen Ablationsvorgängen ebenfalls strukturelle Veränderungen aufweisen kann. Die obigen Abbildungen stellen dies anhand von einigen Beispielen dar. PbTe kristallisiert im NaCl-Gitter. Trigonale Strukturen sind somit charakteristisch für (111)- und quadratische Strukturen charakteristisch für (200)-Orientierung der aufgewachsenen Kristallite. Durch Veränderung des Prozessdruckes konnten (substratunabhängig) unterschiedliche Vorzugsorientierungen der aufgewachsenen Schichten erzielt werden. Die rasterelektronenmikroskopischen Aufnahmen (a) und (b) lassen auf eine deutliche Bevorzugung der (111)-Orientierung und (c) der (200)-Orientierung für das jeweilige System schließen. Exemplarisch für Veränderungen der Targetbeschaffenheit durch auftreffende Laserstrahlung zeigt Abb. (d) die entstandene säulenartige Struktur für Na0,7CoO2. (Bild eingereicht von Patrick Schichtel und Christian Schneider)