Juli 2014

In der Abbildung a) ist eine schematische Zeichnung der Dual-Beam Pulsed-Laser-Depositionskammer der AG Janek gezeigt. Beim Eintritt in die Kammer wird ein KrF-Laser (248 nm) durch einen Gradientenfilter (teildurchlässiger Spiegel) in zwei Strahlen aufgeteilt. Mit Hilfe von Spiegeln und Linsen werden die beiden Strahlen auf rotierende Targets gelenkt, bei denen es sich im dargestellten Fall um Zirkonium und Titan handelt. Außerdem besteht die Möglichkeit, das Substrat zu heizen und die Ablation in unterschiedlichen Gasatmosphären durchzuführen. In Abbildung b) ist ein Bild während der Abscheidung zu sehen. Der Prozess findet in einer Sauerstoffatmosphäre statt, wobei Zirkonium mit mehr Energie (60 % der Gesamtenergie) ablatiert wird als Titan (40 %), was man anhand der unterschiedlich großen Plasmen erkennen kann. Die Einstellung der Energieaufteilung erfolgt mittels des oben erwähnten Gradientenfilters. (Bild eingereicht von Ralph Henning.)