September 2010

Die REM-Bilder zeigen mikrostrukturierte Platinelektroden auf Yttrium-stabilisierten Zirconiumdioxid (YSZ)-Substraten. Durch die Topographie der Elektrode (und die Materialunterschiede) erscheint das Platin hellgrau und das YSZ dunkelgrau. Mit Hilfe der Fotolithographie ist es möglich, auch aus Platin verschieden strukturierte Elektroden mit charakteristischen Längen im Mikrometerbereich herzustellen. Zuerst wird aus Fotolack ein Negativ der gewünschten Struktur auf dem YSZ-Substrat erzeugt. Nachfolgend wird mittels gepulster Laserablation (PLD) die Zelle mit Platin beschichtet und anschließend von dem Fotolack befreit. Im Falle von Platin/YSZ-Elektroden dient die Strukturierung der Herstellung einer definierten Dreiphasengrenzlänge, um anhand von elektrochemischen Messungen ein besseres Verständnis der Sauerstoffeinbau- bzw. -ausbaukinetik zu erreichen. Bild eingereicht von J. Neumeier und C. Bachmann