Das Mikro- und Nanostrukturierungslabor (MiNaLab)

Kurzbeschreibung MiNaLab: Das Mikro- und Nanostrukturierungslabor (Reinraumlabor) wird von der AG Klar betrieben. Weitere Informationen finden Sie hier.

Hier finden Sie die Nutzungsordnung des Mikro- und Nanostrukturierungs-Labors (g-Kennung und Passwort erforderlich).

Die folgenden Geräte stehen zur Verfügung:

Kollektion der MiNaLab-Geräte: 3D-Mikrolithografie; Elektronenkanonen-Aufdampfanlage; Elektronenstrahl-Lithografie (EBL); Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie (MiNaLab); Fotolithografie; Ionenstrahlätzer; Reaktivionenätzer; Thermische Aufdampfanlage

MiNaLab - Reinraum