Kollektion der MiNaLab-Geräte https://www.uni-giessen.de/de/fbz/zentren/lama/Platt/geraete/koll-plattformen/koll_minalab https://www.uni-giessen.de/@@site-logo/logo.png Inhaltspezifische Aktionen Kollektion der MiNaLab-Geräte 3D-Mikrolithografie Elektronenkanonen-Aufdampfanlage Elektronenstrahl-Lithografie (EBL) Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie (MiNaLab) Fotolithografie Ionenstrahlätzer Reaktivionenätzer Thermische Aufdampfanlage