Elektronenstrahl-Lithografie (EBL)

Betreibende Arbeitsgruppe:

AG Prof. Dr. Peter J. Klar

Methodenplattform:

Mikro- und Nanostrukturierungslabor (MiNaLab)

Standort:

Physik-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16, Raum 407

Gerätetyp, Eigenschaften, sonstige Angaben:

SEM JEOL JSM 7001-F mit XeDraw2-Schreibzusatz

Ansprechpartner:

Dr. Torsten Henning

I. Physikalisches Institut

Physik-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16, Raum 429

Tel. +49-641-99-33191