Geräte-Seiten

Plasma-Focused-Ion-Beam Rasterelektronenmikroskopie (PFIB-SEM)

Atomlagen-Abscheidung (ALD)

Elektronenstrahl-Lithografie (EBL)

Quecksilberporosimetrie

Fotolithografie

Ionenstrahlätzer

Reaktivionenätzer

Elektronenkanonen-Aufdampfanlage

Thermische Aufdampfanlage

3D-Mikrolithografie

Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie

Hybrid-Flugzeit-Massenspektrometrie (ToF-SIMS)

Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS)

Batteriezyklisierer

Impedanzmessplätze

Kontaktwinkel-Messgerät

Dünnschicht-Röntgendiffraktometrie (XRD) (AG Janek)

Pulver-Röntgendiffraktometrie (XRD) (AG Janek)

Molekularstrahl-Epitaxie (MBE)

Magnetron-Sputteranlagen (AG Klar)