Atomlagen-Abscheidung (ALD)

AG Prof. Dr. Sangam Chatterjee

Methodenplattform:

Dünnschicht- und Epitaxielabor (DünE)

Standort:

Physik-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16, Raum 06 (Untergeschoss)

Gerätetyp, Eigenschaften, sonstige Angaben:

Picosun R-200 Standard mit angeschlossener Glove Box zur Arbeit in inerter Atmosphäre. Planare, poröse und pulverförmige Proben können mit dünnen Metall- und Metalloxidschichten beschichtet werden. Verfügbar sind Al₂O₃, CeO₂, HfO₂, MgO, NiO, Pt, SiO₂, TiO₂ und ZnO. Andere Materialien sind nach Rücksprache möglich.

Dr. Jörg Schörmann

I. Physikalisches Institut

Physik-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16, Raum 334

Tel. +49-641-99-33122

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