Magnetron-Sputteranlagen (AG Klar)
Methodenplattform:
Dünnschicht- und Epitaxielabor (DünE)
Standort:
Physik-Instituts- bzw. Werkstattgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16/20, verschiedene Räume (Untergeschoss)
Gerätetyp, Eigenschaften, sonstige Angaben:
Eigenbau bzw. modifiziert, RF- und gepulster Betrieb, Substratheizung, bis zu 5 Materialien im Schichtsystem ohne Luftkontakt, Glovebox; möglich ist die Herstellung von Schichten aus Mo, Pt, ZnO:Al, VO2, WO3, LiPON
Ansprechpartner:
PD Dr. Angelika Polity
I. Physikalisches Institut
Physik-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16, Raum 229
Tel. +49-641-99-33117