Magnetron-Sputteranlagen (AG Klar)

AG Prof. Dr. Peter J. Klar

Methodenplattform:

Dünnschicht- und Epitaxielabor (DünE)

Standort:

Physik-Instituts- bzw. Werkstattgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16/20, verschiedene Räume (Untergeschoss)

Gerätetyp, Eigenschaften, sonstige Angaben:

Eigenbau bzw. modifiziert, RF- und gepulster Betrieb, Substratheizung, bis zu 5 Materialien im Schichtsystem ohne Luftkontakt, Glovebox; möglich ist die Herstellung von Schichten aus Mo, Pt, ZnO:Al, VO₂, WO₃, LiPON

Ansprechpartner:

PD Dr. Angelika Polity

I. Physikalisches Institut

Physik-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16, Raum 229

Tel. +49-641-99-33117

e-Mail