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Mikro- und Nanostrukturierungslabor

Blick ins Lithografielabor ("Gelbraum")Das Mikro- und Nanostrukturierungslabor (Reinraumlabor) ist eine zentrale Einrichtung, die den Nano- und Materialwissenschaften in Mittelhessen eine zeitgemäße Ausrüstung zur Verfügung stellt, mit der

  • Nanostrukturen in sogenannter top-down-Technik erzeugt werden können,
  • durch Vorstrukturierung von Substraten kontrollierte Bedingungen für die Herstellung von Nanostrukturen in sogenannter bottom-up-Technik definiert werden können und
  • die Integration von Nanostrukturen in Bauelementen (Nano-Mikro-Integration) erforscht werden kann.

Auf einer Reinraumfläche von 41 m2 (Reinraumklassen 10000 und 1000) und weiteren Laborflächen bietet das Labor unter anderem folgende Ausrüstung:

  • Fotolithografie (Maskaligner MA 56)
  • 3D-Mikrolithografie (Zwei-Photonen-Lithografie) mit einem Photonic Professional GT von Nanoscribe (seit 2019)
  • Rasterelektronenmikroskop mit Elektronenstrahllithografie (JEOL JSM 7001F, XENOS XeDraw2)
  • Aufdampfanlagen (thermisch und Elektronenkanone)
  • Strukturübertragung mit Trockenätzen (Reaktivionenätzer, Ionenstrahlätzer) und Naßätzen (Abzug, Naßbänke)
  • Profilometrie mit einem Bruker DektakXT.

Das Mikro- und Nanostrukturierungslabor wird betrieben von der Abteilung Mikro-/Nanostrukturphysik des I. Physikalischen Instituts im Rahmen des Zentrums für Materialforschung (ZfM/LaMa). Seit 2012 bilden wir auch Mikrotechnolog/inn/en mit Schwerpunkt Mikrosystemtechnik aus, zur Zeit haben wir die Ausbildung wegen Elternzeit unserer Mikrotechnologin allerdings auf Eis gelegt. Unsere Azubis besuchen die länderübergreifende Berufsschulklasse der Andreas-Gordon-Schule in Erfurt.

 Die Errichtung und Einrichtung des Reinraumlabors wurde finanziert aus Mitteln der Justus-Liebig-Universität, des NanoNetzwerkHessen und der Bundesrepublik Deutschland (Art. 91b GG). Neben Mitgliedern der Justus-Liebig-Universität Giessen, der Universität Marburg und der Technischen Hochschule Mittelhessen steht das Labor auch anderen interessierten Nutzern, nicht nur aus Hessen, zur Verfügung.