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Becker, Martin

Dünnschichttechnologie

Die Forschungsschwerpunkte liegen auf der vergleichenden Herstellung funktionaler Dünnschichten mittels mannigfacher Beschichtungsmethoden. Dies umfasst sowohl rein physikalische Wirkungsverfahren wie Kathoden- und Ionenstrahlzerstäubung, als auch Verfahren, welche auf Basis von Gasphasenreaktionen ablaufen. Hierbei kommt die Atomlagenabscheidung (ALD), ein verändertes CVD-Verfahren, in welchem zyklisch die Ausgangsstoffe in die Reaktionskammer eingelassen werden, zum Einsatz.

Zur Analyse der Dünnschichteigenschaften (strukturell, optisch, elektrisch, thermisch) stehen eine Vielzahl von Charakterisierungsmethoden zur Verfügung, welche im Rahmen des Zentrums für Materialforschung bereitgestellt werden. Untersuchte Materialklassen sind vornehmlich optoelektronische und photovoltaische Beschichtungen, sowie Materialien der Energiespeicherung und -wandlung.

Weiterer Schwerpunkt der Forschung ist die stete apparative Weiterentwicklung bestehender Zerstäubungsverfahren hin zu erhöhter Prozessflexibilität sowohl zur Herstellung von neuartigen Materialkombinationen als auch von Multischichtsystemen. Als Beispiel sei hier die innovative Technik 2DIBS genannt.

 

Kontakt

Dr. Martin Becker

I. Physikalisches Institut

Tel.: +49-641-99-33103

Fax: +49-641-99-33139

Physik-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16, Raum 227a

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Anwendungen/Funktionen:

  • (Photo-)Elektrokatalyse
  • Intelligente Verglasungen (Smart Windows)
  • Nachhaltige Materialien
  • Oberflächentechnologien
  • Optische Materialien

 

Methoden:

  • Atomlagenabscheidung
  • Elektrischer Transport
  • Elektrochemische Messungen
  • Ionenstrahltechniken
  • Optische Spektroskopie
  • Physikalische Abscheidungen
  • Strukturanalytik

 

Materialklassen:

  • Dünnschichten
  • Festelektrolyte/gemischte Leiter
  • Halbleiter
  • Oxide
  • thermochrome/elektrochrome Schichten