Ionenstrahl-Sputteranlage (AG Klar)
Methodenplattform:
Dünnschicht- und Epitaxielabor (DünE)
Standort:
Physik-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16, Raum 06 (Untergeschoss)
Gerätetyp, Eigenschaften, sonstige Angaben:
Eigenbau, mit Substratheizung, bis zu 3 Materialien im Schichtsystem ohne Luftkontakt, Dualstrahl (kombinatorische Materialabscheidung)
Ansprechpartner:
Dr. Martin Becker
I. Physikalisches Institut
Physik-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16, Raum 227a
Tel. +49-641-99-33103