Ionenstrahl-Sputteranlage (AG Klar)

AG Prof. Dr. Peter J. Klar

Methodenplattform:

Dünnschicht- und Epitaxielabor (DünE)

Standort:

Physik-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16, Raum 06 (Untergeschoss)

Gerätetyp, Eigenschaften, sonstige Angaben:

Eigenbau, mit Substratheizung, bis zu 3 Materialien im Schichtsystem ohne Luftkontakt, Dualstrahl (kombinatorische Materialabscheidung)

PD Dr. Angelika Polity

I. Physikalisches Institut

Physik-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16, Raum 229

Tel. +49-641-99-33117

e-Mail