Profilometer (AG Schlettwein)

AG Prof. Dr. Derck Schlettwein

Methodenplattform:

keine

Standort:

Physik-Hörsaalgebäude, Heinrich-Buff-Ring 14, Raum 44

Gerätetyp, Eigenschaften, sonstige Angaben:

Alpha-Step 100 von Tencor Instruments
zur Schichtdicken- und Rauigkeitsbestimmung

Prof. Dr. Derck Schlettwein

Institut für Angewandte Physik

Physik-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 16, Raum 141

Tel. +49-641-99-33400

e-Mail