Ionenstrahl-Sputteranlage (AG Janek)

AG Prof. Dr. Jürgen Janek

Methodenplattform:

Dünnschicht- und Epitaxielabor (DünE)

Standort:

Chemiegebäude, Heinrich-Buff-Ring 17, Raum B 44

Gerätetyp, Eigenschaften, sonstige Angaben:

Surface Workstation, mit Glovebox; möglich ist die Herstellung von Schichten aus diversen Materialien (nach individueller Absprache)

Dr. Joachim Sann

Physikalisch-Chemisches Institut

Chemie-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 17, Raum A 13a

Tel. +49-641-99-34506

e-Mail