Magnetron-Sputteranlage (AG Janek)

AG Prof. Dr. Jürgen Janek

Methodenplattform:

Dünnschicht- und Epitaxielabor (DünE)

Standort:

Chemiegebäude, Heinrich-Buff-Ring 17, Raum B 44

Gerätetyp, Eigenschaften, sonstige Angaben:

Surface, mit Glovebox; speziell für die Herstellung von LiPON-Schichten

Dr. Joachim Sann

Physikalisch-Chemisches Institut

Chemie-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 17, Raum A 13a

Tel. +49-641-99-34506

e-Mail