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Laserellipsometrie (AG Smarsly)

Betreibende Arbeitsgruppe:

AG Prof. Dr. Bernd Smarsly

 

Methodenplattform:

keine

 

Standort:

Chemiegebäude, Heinrich-Buff-Ring 17, Raum B 33

 

Gerätetyp, Eigenschaften, sonstige Angaben:

Sentech, SE400Adv
Bestimmung von Schichtdicke, Brechungsindex und Absorptionskoeffizienten dünner Schichten

 

Ansprechpartner:

Dr. Rafael Meinusch

Physikalisch-Chemisches Institut

Chemie-Institutsgebäude, Heinrich-Buff-Ring 17, Raum B 32

Tel. +49-641-99-34593