Kollektion der Geräte der AG Klar https://www.uni-giessen.de/de/fbz/zentren/lama/Platt/geraete/koll-arbeitsgruppen/koll_ag_klar https://www.uni-giessen.de/@@site-logo/logo.png Inhaltspezifische Aktionen Kollektion der Geräte der AG Klar 3D-Mikrolithografie Elektronenkanonen-Aufdampfanlage Elektronenstrahl-Lithografie (EBL) Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie (MiNaLab) Fotolithografie Ionenstrahl-Sputteranlage (AG Klar) Ionenstrahlätzer Magnetron-Sputteranlagen (AG Klar) Nanotracking-Analyser Raman-Mikroskop Reaktivionenätzer Thermische Aufdampfanlage